在工業(yè)污水處理工程中臭氧氧化工藝往往是作為一個操作單元接在常規(guī)廢水處理流程之后。其目的就是對廢水進行深度處理，使其出水水質(zhì)有的可達(dá)到國家規(guī)定的排放標(biāo)準(zhǔn)；有的可提高出水水質(zhì)，使其在生產(chǎn)水系統(tǒng)中循環(huán)使用或者回用。

完整的臭氧氧化廢水處理系統(tǒng)粗略地說就是附有一臺臭氧發(fā)生器的系統(tǒng)。在工業(yè)的各個分支都有臭氧的不同應(yīng)用，來處理所有種類的廢水。根據(jù)工業(yè)類型和廢水種類的不同，具體操作條件也不同。

在許多實際應(yīng)用中，氧氣和動力的成本雖然不同，但都是經(jīng)濟的。臭氧和生物降解的組合可減少臭氧的消耗，成本也降低了。現(xiàn)在，在大多數(shù)實際應(yīng)用中，臭氧部分都被移植到了帶有生物降解的多級系統(tǒng)中（在生物降解前一定有臭氧氧化，有時也在生物降解后加上臭氧0₃-Bio- O₃系統(tǒng)）。

較常用的容器是裝備有擴散或文丘里注射器的氣泡柱反應(yīng)器，多數(shù)是以逆流的模式工作。很多反應(yīng)器的操作壓力往往很高，達(dá)到(2～6)×10⁵Pa（絕對壓力），這樣可以加快傳質(zhì)速率，提高整個過程的效率。

由臭氧發(fā)生器產(chǎn)生出來的臭氧，如何有效地被水吸收，這是臭氧氧化工藝處理廢水的一個關(guān)鍵問題。臭氧-水的接觸反應(yīng)系統(tǒng)是一種將臭氧投入廢水中并使之與廢水中的有機物、細(xì)菌、金屬離子等進行化學(xué)反應(yīng)及消毒。生化反應(yīng)的過程。其反應(yīng)效果（即廢水處理效果）既與相同質(zhì)量傳遞有關(guān)，也與反應(yīng)過程本身有關(guān)。對于不同的反應(yīng)過程應(yīng)選用與其相適應(yīng)的接觸反應(yīng)裝置。目前，國內(nèi)常用的反應(yīng)裝置主要有鼓泡塔、靜態(tài)混合器、渦輪注入器。壓力噴射器、填料塔等。

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